气相沉积过程

案例：Parylene是在专用的真空气相沉积设备中，通过升华（120℃/1.33Mpa）→裂解（650℃/1.33Mpa）→气化（120℃/1.33Mpa）→沉淀涂层（25℃/1.33Mpa）→ 这几个步骤来完成对工件表面的涂膜。
1，在真空状态下和120度的条件下将固态原料升华成气态。

2，在650度将气态原料裂解成具有反应特性的活性单体。

3，活性单体在室温条件下沉积并聚合。