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派瑞林沉积原理

发布时间：2017-04-19 11:48:31点击率：

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parylene采用一种独特的化学气相沉积工艺（CVD），CVD工艺最早应用在半导体工业的外延生长，整个过程是气态反应，又在真空条件下进行，因而可以获得非常均匀的涂层，达到其它方法难以实现的同形性。

气态单体进入沉积腔室，首先弥漫在工件表面，当吸附到各个表面后开始聚合和结晶，直接形成固体，避免了液相的出现，清除了厚度的不均匀和涂层中的缺陷。

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